设备型号:GPV-HP-WSG08
设备简介:该设备可实现单晶硅片的的无损切割,兼容性强、效率高、切割质量好,稳定可靠。
设备优势与特点:
1、上下料方法灵活,支持花篮或料盒。
2、主体框架为钢构焊接结构,坚固可靠,包管运行平稳。
3、特制无痕吸盘。
4、双轨独立控制。
5、程序可贮存多组配方,更换差别产品可快速切换。
6、程序可设置具有密码�;さ亩嘀夭僮魅ㄏ蕖�
7、自主AI算法实现PL与红外隐裂检测。
8、支持MES对接。
技术参数:
| 序号 | 设备规格 | 标准值 |
|---|---|---|
| 1 | 设备型号 | GPV-HP-WSG08 |
| 2 | 产能 | 6500PCS/H |
| 3 | 综合破片率 | ≤0.2% |
| 4 | 硅片适用类型 | 单晶硅片 |
| 5 | 硅片适用尺寸 | G12,公差±0.25mm |
| 6 | 硅片厚度 | 100-130um,±10um |
| 7 | 切片规格 | 标配 1/2片 |
| 8 | 直线度 | ±0.075mm |
| 9 | 巨细片 | ±0.075mm |
| 10 | 切片方法 | 激光无损切割,有水 |
| 11 | 头尾开槽长度 | ≤1.5mm±0.2mm |
| 12 | 头尾开槽宽度 | ≤100μm±10μm |
| 13 | 头尾开槽深度 | ≤厚度的40% (可调) |
| 14 | 热影响区域 | 无(头尾开槽除外) |
| 15 | 划痕控制 | 无传输历程引起的划痕、破损、污染 |
| 16 | 检测�?� | PL(必选)、红外隐裂(必选)、巨细片(必选)、电阻率/厚度(可选)、少子(可选) |
| 17 | MES接口 | 有,支持设备数据输出给中央控制主机 |
| 18 | 使用情况温度 | 25℃±10℃ |
| 19 | 压缩空气 | 0.5MPa-0.8MPa |
| 20 | 电源 | AC 380V 50/60Hz 三相五线制 |
| 21 | 耗电量 | 峰值:55KW ,平均:33KW |
| 22 | 设备重量 | 10000KG |
| 23 | 设备尺寸 | 12900mm×2485mm×2275mm |